国内首台自主知识产权光刻机将在合肥面世-中华机械网-中国最大的机械网站

首页｜供求信息｜产品库｜公司库｜行业资讯｜网页｜展会｜百科｜论坛

您当前位置: 中华机械网首页 > 行业资讯 > 省市新闻 > 安徽 > 正文

国内首台自主知识产权光刻机将在合肥面世

（Nov 13 2007 08:31AM 阅读数：3 ）

国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。

记者从位于合肥市经济开发区的芯硕半导体(合肥)有限公司了解到，该公司生产的两台直写式光刻机样机已进入最后的总装调试阶段，12月底将面世。据介绍，与目前国际上同类产品相比，其生产的直写式光刻机分辨率达到亚微米级，且产能较高，达到了世界领先水平。

据悉，光刻机是半导体设备里最关键的设备之一，每一代半导体技术的发展都是以光刻线宽为代表。但目前在中国，生产用光刻机完全依赖进口，国产品牌的亚微米级光刻机还是空白。芯硕半导体公司生产的直写式光刻机具有中国自主知识产权，将为中国光刻机技术的发展奠定坚实基础。

(源自：新华网)

【评论】【字体：大中小】【打印】【关闭】

(本信息真实性未经中华机械网证实，仅供您参考。)