文中阐述了超精密加工技术的发展现状及实现方法。通过介绍微机器人技术在超精密加工中的具体应用，论证了微机器人技术在超精密加工及精密工程中的应用价值。

    1、引言

    随着产品质量要求的不断提高，以精密加工、超精密加工、微细加工和纳米加工等为代表的精密工程越来越引起人们的关注。通常我们把被加工零件的尺寸精度和形位精度达到零点几微米，表面粗糙度低于百分之几微米的加工技术称为超精密加工技术。超精密加工技术在国防工业、信息产业和民用产品中都有着广泛的应用前景。在国防工业中，导弹陀螺仪的质量直接影响其命中率，1 kg的陀螺转子，其质心偏离对称轴0.0005μm ，就会引起100 m的射程误差和50 m的轨道误差。在宇航技术中，卫星的姿态轴承为真空无润滑轴承，其孔和外圆的圆度及圆柱度均为纳米级。卫星用的光学望远镜、电视摄像系统、红外传感器等，其光学系统中的高精度非球面透镜等都必须经过超精密车、磨、研、抛等超精密加工。此外，大型天体望远镜的透镜、红外线探测器反射镜，激光核聚变用的曲面镜等都是靠超精密加工才能制造。在信息产业中，计算机芯片、磁盘和磁头，复印机的感光鼓等都要经过超精密加工才能达到要求。民用产品中的许多产品，如隐形眼镜，就是用超精密数控车床加工而成的。

图1 微加工机器人

    2、超精密加工的实现方法

    目前，实现超精密加工的方法主要有：超精密切削，如超精密金刚石刀具镜面车削、镗削和铣削等；超精密磨削、研磨和抛光；超精密微细加工（电子束、离子束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技术等）。

    日本的一些学者提出了利用微机器人进行超精密加工的概念，这一概念突破传统加工观念，设计出可以自由移动的微小机器人，让机器人群在工件上爬，可实现纳米级超精密加工。

    机构的小型化可以节约资源和能源，并且由于零件尺寸的减小，从而提高了单位体积和重量的功能的集成度。小型化也开辟了许多新的应用领域，比如在工业上的遥操作或细胞生物领域的应用。源于微电子技术的硅微加工工艺对于机构的小型化有着重大影响，它在同一个零件上集成了机械和电子功能，非常适合于加工MEMS系统。